
洁净室的管理需符合哪些要求
洁净室(区)的管理需符合下列要求:(1)进入洁净室(区)的人员,必须按要求进行更鞋、更衣、洗手、消毒手后,始可进入洁净区(室)内。
对于洁净室(区)内人员数量应严格控制。
其工作人员(包括维修、辅助人员)应定期进行卫生和微生物基础知识、洁净作业等方面的培训及考核;对经批准进入洁净室(区)的临时外来人员应进行指导和监督,并登记备查。
(2)洁净室(区)与非洁净室(区)之间必须设置缓冲设施,人、物流走向合理。
(3)30万级以上区域的洁净工作服应在洁净室(区)内洗涤、干燥、整理,必要时应按要求灭菌。
(4)洁净室(区)内设备保温层表面应平整、光洁,不得有颗粒性物质脱落。
(5)洁净室(区)内应使用无脱落物、易清洗、易消毒的清洁卫生工具,卫生工具要存放于专设的洁具间内。
(6)洁净室(区)在静态下检测的尘埃粒子数、沉降菌数必须符合规定,应定期监控动态条件下的洁净状况。
(7)洁净室(区)的净化空气,可循环使用,并适当补入新风,对产尘量大的工序,回风应排出室外,以避免污染和交叉污染;(8)空气净化系统应按规定清洁、维修、保养并作记录,均定置存放,并有状态标记。
(9)生产工具、容器、设备、生产成品、中间产品,均定置存放,并有状态标记。
(10)个人卫生严格按照(66条)生产人员卫生要求严格执行。
洁净室的静压差问题
在本质上它是由风量决定的。
一、在洁净室常规设计中,新风和循环风全部是由空气处理单元(AHU)送出来的。
在不开新风和排风的情况下,抛开损耗不去考虑,由于管道是密闭的,理论上讲,AHU送出的风量与回来的风量是一样,换句话说,洁净室体积内的总风量是不变的,风速越大,只代表换气次数加大、流动加快了而已。
在风口尺寸确定的情况下,风量是与风速是成正比的,这时可以把风速理解成风量的表征值,但由于你出的快,我回的也快,因此,相对房间之外的区域还是平衡的,是不流动的,因此也就没有压差存在。
二、假如在上述基础上,我们增加了新风,这时我们立即发现,此前的平衡被打破了。
因为要与新风混合,所以回风量就没有之前的多了,但送风口的风量却没有变化。
这些多出来的风量由于无法从回风口全部回去,必须要向其它区域扩散,这样就导致了该房间对其它区域的正压力。
所以,在本质上压力来源于风量的变化,而不是风速或换气次数。
三、如果在上述循环风和新风加入的基础上,又增加了排风。
这时我们就会发现,当排风量小于新风量的时候,房间相对其它区域是正压的,反之,则是负压。
因此,压力变化的本质则是风量的变化。
洁净室的湿度控制
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
净化工程具体工艺对温度的要求需要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。
相对湿度在50%时易生锈。
此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。
对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。
洁净室中正压 负压的概念 ,和两者关系
正压、负压是相对于大气压而言的。
简单而言正压就是压力高于大气压,负压就是压力小于大气压。
送风量大于回(排)风量,房间正压;反之亦然。
如何加强洁净室管理
洁净室的换气次数和压差的关系一个洁净室的换气次数与这个洁净室相对外界的压差有大小没有关系的。
换气次数是某洁净空间单位时间内总进风量\\\/该空间容积的商。
空间内的污染物质越多、洁净级别越高需要的换气次数越多。
空间的压力是进风量大于回风量的余量维持某一压力水平。
压差是相邻空间的压力之间的差值。
如何降低人员对洁净室的污染
在洁净室中,人是决定微粒污染物产生的重要因素。
洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是最重要的。
本文接上篇继续介绍洁净室工作人员应遵循的规程,有关服装和个人用品方面的要求。
至于珠宝首饰,工作人员可以戴结婚和订婚戒指,但最好不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指,因为它们可能会刺穿手套或者衣服。
如果一定要戴这种戒指,就需要在戴手套和穿洁净服之前用带子把它们缠起来。
建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品,即便它们一般都是藏在衣服里面,也最好不要佩戴这些饰物。
因为这些东西可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。
个人物品,例如香烟、钱包、纸巾和纸制品,都要存放在办公桌或者储物柜里,不能把它们带进洁净室。
除非得到管理人员的特别许可,否则,在洁净室里,衣服口袋只能是空的。
在进入洁净室之前,首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。
干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。
一次性鞋套最好每天更换一到两次。
大多数更衣室都有干净的一边和污染的一边,洁净室人员应该始终按规定执行。
不能穿着鞋套走出更衣室,又穿着同一双鞋套走进来。
美国进口普卫欣天 猫有效防雾霾出门做好防护最好戴蓬松的圆帽。
正如前面所说的,头发,必须完全藏在帽子里,不能露出来。
只能在洁净室或者更衣室外面把帽子摘掉,也不能在洁净室里脱帽子。
在洁净室或者更衣室外面戴过的帽子也不能再次使用了。
对于穿着的洁净服,建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。
各家公司在这个程序上的规定也不一样。
必须时刻遵守着装程序。
衣服不得与地板接触。
与地板接触会污染衣服。



